講演情報
[25p-12M-8]集光ビームを用いた3次元マイクロトポグラフィーの開発
〇米山 明男1,2、小西 くみこ1、島 明生1、高松 大郊1 (1.日立、2.九州シンクロトロン)
キーワード：
トポグラフィー,3次元
セクション・トポグラフィー法と、1次元集光ミラーにより集光したシート状のＸ線を組み合わせることにより、ミクロンオーダーの深さ分解能を有する3次元マイクロＸ線トポグラフィー（Three-dimensional micro X-ray Topography（3D m-XRT））を新たに開発した。