講演情報
[25p-1BJ-1]上部電極越しに観察した HfO2 系強誘電体の分極コントラスト: レーザー励起光電子顕微鏡
〇藤原 弘和1,2、糸矢 祐喜3、小林 正治3,4、Bareille Cédric5、辛 埴6、谷内 敏之1,2 (1.東大新領域、2.東大MIRC、3.東大生産研、4.東大d.lab、5.東大物性研、6.東大特別教授室)
キーワード：
強誘電体キャパシタ,光電子顕微鏡,自発分極イメージング
HfO2系強誘電体デバイスが示すfatigue等の特性変動を、自発分極ドメインのピニング、デピニングで説明するモデルが提案されているが、その背後にある欠陥分布の変化を実験的に可視化した報告はない。本研究では、HfO2系MFSキャパシタをオペランドレーザー励起光電子顕微鏡で観察し、分極反転に対応したコントラスト変化を観測することに成功した。本成果はHfO2デバイスの信頼性向上に貢献すると期待される。