[25p-1BJ-1~7] CS.6 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

14:00 〜 14:15

[25p-1BJ-5] 二段階昇温フラッシュランプアニールによるHf_0.5Zr_0.5O₂薄膜の分極特性向上

〇谷村 英昭¹、太田 裕登³、植野 雄守¹、河原崎 光¹、加藤 慎一¹、三河 巧¹、奈良 安雄^2,3 (1.SCREEN、2.東京都市大、3.兵庫県立大)

キーワード：

フラッシュランプアニール,HfZrO2