講演情報
[25p-21C-6]全可視光色をカバーする広帯域発光InGaN系マイクロレンズ構造
〇松田 祥伸1、高濱 章年1、船戸 充1、川上 養一1 (1.京大院工)
キーワード：
窒化物半導体,マイクロ構造,多波長発光素子
三次元マイクロ構造上InGaN量子井戸(InGaN QW)は，蛍光体フリーな多波長発光素子として注目されている．最近我々は，基板加工によって形成されるGaNマイクロレンズ構造上InGaN QW(以下，マイクロレンズQWとする)が，傾斜角分布によって多波長発光特性を示すことを報告した[1,2].しかし，その発光波長域は，可視光の短波長領域である紫色から青緑色に限られていた．本研究では，結晶成長条件および積層構造の制御により，全可視光色をカバーする広帯域発光マイクロレンズQWを実証したので報告する．