[25p-61A-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[25p-61A-13] 波長変換デバイスに向けたメサ型Ga₂O₃/空気DBR構造の作製

〇佐藤 秀哉¹、門馬 智亮¹、相川 健喜¹、菊池 昭彦^1,2,3 (1.上智大理工、2.上智大フォトニクス研究センター、3.上智大半導体研)

キーワード：

酸化ガリウム,エッチング,多層膜反射鏡

酸化ガリウム(Ga₂O₃)は、4.5eVを超える広いバンドギャップと優れたｎ型導電性制御性などの特徴を有し、次世代電子デバイスなどへの応用が期待されている。本研究では、β-Ga₂O₃に対して垂直エッチングが可能な水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法を用いて、可視光領域で広帯域・高反射率が期待されるGa₂O₃/空気 分布ブラッグ反射鏡(DBR)とDBR共振器に色素溶液注入用ナノ流路を集積した高さ10umの高アスペクトな波長変換デバイスの設計と作製を行った。