2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[25p-61B-1~9]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2024年3月25日(月) 13:00 〜 15:30
61B (6号館)
内田 儀一郎(名城大)
13:00 〜 13:15

[25p-61B-1]イオン照射によるTi表面の微視的な構造変化：機械学習力場を用いた分子動力学計算とパーシステンス図による評価

〇山本 康介1、樋口 恒1、河野 有美子1、山田 一希1、李 虎2 (1.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ（株）、2.Tokyo Electron America, Inc.)
13:15 〜 13:30

[25p-61B-2]プラズマスパッタによる高移動度アモルファスITO成膜におけるハイブリッド機械学習モデル

〇鎌滝 晋礼1、板垣 奈穂1、山下 大輔1、奥村 賢直1、山下 尚人1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大シス情)
13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[25p-61B-3]プラズマALDにおける立体構造内SiO2膜質分布の定量考察

〇濱野 誉1、久保井 信行1、松谷 弘康1、辰巳 哲也1、小林 正治1、萩本 賢哉1、岩元 勇人1 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社)
13:45 〜 14:00奨励賞エントリー

[25p-61B-4]金属元素が窒化ホウ素膜中のsp3結合形成に及ぼす影響

〇朝本 雄也1,5、野間 正男2、長谷川 繁彦3、山下 満4、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.神港精機、3.阪大産研、4.兵庫県立工技センター、5.学振特別研究員)
14:15 〜 14:30

[25p-61B-5]テトラメチルシランプラズマを用いた膜堆積過程の赤外分光解析

桒田 篤哉1、大石 侑叶1、東田 遼平2、〇篠原 正典2 (1.福岡大院工、2.福岡大工)
14:30 〜 14:45英語発表

[25p-61B-6]Development of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Yttrium Oxide using Microwave Excited Atmospheric Pressure Plasma Jet

〇(DC)Bat-Orgil Erdenezaya1, Hirochika Uratani1, Ruka Yazawa1, Md. Shahiduzzaman1, Tetsuya Taima1, Yusuke Nakano1, Yasunori Tanaka1, Tatsuo Ishijima1 (1.Kanazawa University)
14:45 〜 15:00

[25p-61B-7]プラズマCVD法を用いたポリカーボネート板の耐摩耗性及び耐光性向上に関する検討

〇小島 洋治1 (1.広島県総研)
15:00 〜 15:15

[25p-61B-8]マイクロ波水素プラズマ化学輸送法を用いたダイヤモンド合成における基板種の影響

〇酒井 佑真1、伊藤 拓望1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.大阪大工)
15:15 〜 15:30

[25p-61B-9]高密度収束プラズマスパッタリングにおけるGaN薄膜の結晶配向性に対する放電パルス長の影響

〇御園 樹1、本村 大成2、上原 雅人2、田原 竜夫2、奥山 哲也1,3 (1.久留米高専、2.産総研、3.九大総理工)
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