講演情報
[25p-61B-2]プラズマスパッタによる高移動度アモルファスITO成膜におけるハイブリッド機械学習モデル
〇鎌滝 晋礼1、板垣 奈穂1、山下 大輔1、奥村 賢直1、山下 尚人1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大シス情)
キーワード：
機械学習,プラズマプロセス,プラズマスパッタ成膜
非線形・非平衡であるプラズマプロセスにおける最適なプロセス条件を見出すことに膨大なコストが必要であり, 機械学習の活用は有用な手段と一つとなっている. 本研究では, プラズマプロセスの最適条件探査の機械学習適用の一例として,高周波マグネトロンスパッタリング法により高移動度アモルファスITO成膜を実現するための, 適切な分類モデルと回帰モデルを組み合わせたハイブリッド機械学習手法を開発した.