講演情報
[10a-N404-5]TLAG法によるコンビナトリアルREBCO薄膜の局所電流密度特性評価
〇呉 澤宇1、東川 甲平1、Queraltó Albert2、Ghiara Emma2、Pop Cornelia2、Gupta Kapli2、Obradors Xavier2、Puig Teresa2、木須 隆暢1 (1.九大、2.バルセロナ材料科学研究所)
キーワード:
走査型ホール素子磁気顕微法、コンビナトリアル希土類系高温超伝導薄膜、TLAG-CSD
TLAG-CSD成膜プロセスは高速な成膜レートを実現できるが、薄膜の特性には多くの成膜パラメーターが影響を与えるため、それらを最適化する必要がある。Inkjet printingによるコンビナトリアル試料の作製と、二次元的な構造・組成解析技術と組み合わせて材料探索が進展している中、従来の電流特性評価技術は未だ十分に対応できない。本研究では、局所的な電流特性をハイスループットで評価可能な手法を検討し、材料組成と電流特性の関係を解明した。