[9p-N405-1~18] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

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[9p-N405-1] 高輝度放射光施設ナノテラスの高温超電導薄膜材料への適用検討

〇一瀬 中^1,5、堀出 朋哉^2,5、一野 祐亮^3,5、堀尾 恵一^4,5、松本 要^2,5、吉田 隆^2,5 (1.電中研、2.名大院工、3.愛工学工、4.九工大院生命体、5.JST-CREST)

キーワード：

超電導薄膜、ナノテラス、YBCO

東北大学青葉山キャンパスに設置の3GeVの高輝度放射光施設ナノテラスのビームラインBL14Uを利用し、YBa₂Cu₃O_y超電導薄膜について物質元素、化学状態の可視化を試みた結果を発表する。測定試料はPLD法でSrTiO₃単結晶基板上に作製したYBa₂Cu₃O_y超電導薄膜で、１つの試料を２つに分割し，一方を酸素アニールの後処理を施し、化学状態の異なる超電導薄膜を測定試料とした。銅のX線吸収端近傍のスペクトルを比較することで化学状態が異なること、線吸収端近傍の何点かのエネルギーでX線吸収イメージングを取ることで、局所的な銅の化学状態を分析可能なことが分かった。EDX分析の等の組成分析と合わせてることで，重要な情報が得られると考えられる。