[15a-M_124-1~13] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

11:00 〜 11:15

[15a-M_124-8] GeOI FinFETによるクライオCMOSの評価

〇張 文馨¹、余 心仁²、李 耀仁^3,4、王 永和²、前田 辰郎¹ (1.産総研、2.台湾成功大、3.台湾半導体研究所、4.台湾陽明交通大)

キーワード：

Ge、CMOS、FinFET