[15a-M_135-1~9] 1.6 超音波

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[15a-M_135-6] 多能性®中間膜を用いたエピタキシャルAlN膜の形成とBAW特性評価

〇(B)権守 秀昭¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、關 雅志²、木島 健² (1.山梨大、2.ガイアニクス)

キーワード：

AlN薄膜、エピタキシャル成長