[15a-M_135-1~9] 1.6 超音波

11:15 〜 11:30奨励賞エントリー

[15a-M_135-7] 分極反転Si_0.1Sc_0.3AlN/Sc_0.3AlN膜を用いた5 GHz動作BAW共振子の特性評価

〇(B)土方 雅斗¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、Anggraini Sri Ayu² (1.山梨大、2.産総研)

キーワード：

AlN薄膜、分極反転、BAW共振子