[15a-M_135-1~9] 1.6 超音波

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[15a-M_135-8] 分極反転ScAlN/SiAlN膜を用いた10 GHz動作2次モードBAW共振子

〇(B)本多 洋大¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大)

キーワード：

ScAlN薄膜、BAWデバイス