[15a-M_135-1~9] 1.6 超音波

11:45 〜 12:00

[15a-M_135-9] 音響反射多層膜用Al₂O₃およびSiO₂薄膜の評価

〇大橋 雄二¹、櫛引 淳一²、戸津 健太郎²、横尾 和希³、神 翔太³、伊東 孝洋³ (1.秋田県立大、2.東北大、3.ジオマテック)

キーワード：

音響反射多層膜、SMR型弾性波フィルタ、漏洩弾性表面波速度

SMR型弾性波フィルタ用音響反射多層膜の評価基盤を作成するため、Al₂O₃およびSiO₂単層膜を作製し、漏洩弾性表面波(LSAW)速度による薄膜評価を行った。スパッタ成膜時にRF Biasを印加することによって表面粗さが小さくでき、明確なLSAW速度変化を検出した。