[15a-PB1-1~9] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[15a-PB1-2] 微細配線におけるエレクトロマイグレーション信頼性評価のためのマルチフィジックス解析

〇田畑 海登¹、釘尾 健正¹、逸見 龍瑞¹、溝端 悠介¹、浜野 翔¹、多田 宗弘¹ (1.慶大理工)

キーワード：

エレクトロマイグレーション