[15a-PB1-1~9] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[15a-PB1-4] 単結晶モリブデン微細構造における細線効果の異方性予測

〇来栖 貴史¹、谷本 弘吉¹、大内 和也¹ (1.キオクシア)

キーワード：

単結晶金属配線、細線効果、異方性