[15a-S2_202-1~10] CS.1 2.3 加速器技術・加速器質量分析・ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[15a-S2_202-10] 反応性ガス雰囲気下GCIB照射の極低温でのエッチング効果

〇(M1)北中 晴也¹、伊藤 汰一¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：

GCIB、クライオエッチング