2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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11:00 〜 11:15
[15a-S2_202-8]
単分散mPEGを用いたAr-GCIBスパッタリングによる分子損傷の加速電圧依存性
〇(M2)水谷 優里
1
、松尾 二郎
1
、瀬木 利夫
1
(1.京大院工)
キーワード:
二次イオン質量分析、クラスターイオンビーム
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