講演情報

[15a-S2_202-8]単分散mPEGを用いたAr-GCIBスパッタリングによる分子損傷の加速電圧依存性

〇(M2)水谷 優里1、松尾 二郎1、瀬木 利夫1 (1.京大院工)

キーワード:

二次イオン質量分析、クラスターイオンビーム