講演情報
[15a-S4_203-7]ミニマルファブで製造するデバイスの設計に関する検討
〇本郷 仁啓1、三浦 典子1、池田 伸一1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.Hundred Semiconductors)
キーワード：
ミニマルファブ、設計
デバイスを作製・分析すると現れる、デバイス特性値のばらつきは、デバイス製造プロセスの、ドーピング濃度、ゲートの酸化膜厚、エッチングで生じる寸法ゆらぎが関わっている。これらのデバイス特性に対する擾乱を考慮し、ミニマルファブのソリューションの一つであるカスタム集積回路に使用するトランジスタの設計について報告する。