[15a-W2_401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15

[15a-W2_401-1] フリップチップ加工に向けたBGaN縦型中性子検出器のデバイス構造検討

〇竹中 壮太郎¹、工藤 涼兵¹、安藤 光佑¹、前田 百楽¹、小久保 瑛斗²、都木 克之³、若林 源一郎⁴、小田 達郎⁵、日野 正裕⁶、本田 善央⁷、天野 浩⁷、井上 翼¹、青木 徹³、中野 貴之^1,3 (1.静大院工、2.名大院工、3.静大電研、4.近大原研、5.東大物性研、6.京大複合研、7.名大IMaSS)

キーワード：

BGaN、中性子検出器、半導体