[15a-W8E_101-1~8] 13.3 絶縁膜技術

9:00 〜 9:15

[15a-W8E_101-1] EB蒸着法により形成したTi/Ge構造への酸化処理温度の影響

砂畑 一應¹、中尾 海斗¹、宮入 健¹、佐藤 哲也²、〇王谷 洋平¹ (1.公立諏訪東理大、2.山梨大)

キーワード：

ゲルマニウム、二酸化チタン