[15a-W8E_101-1~8] 13.3 絶縁膜技術

10:45 〜 11:00

[15a-W8E_101-8] PDAによるALD-La₂O₃及びALD-Al₂O₃ダイポール効果の変化

〇生田目 俊秀^1,2、澤田 朋実^1,2、三浦 博美^1,2、宮本 真奈美^1,2、女屋 崇^1,2、塚越 一仁^1,2、深田 直樹^1,2、ジェバスワン ウイパコーン^1,2、右田 真司^2,3 (1.物質・材料研究機構、2.最先端半導体技術センター、3.産総研)

キーワード：

ダイポール、ALD-Al2O3、ALD-La2O3

本研究では、PDA温度によるV_fbシフトからLa₂O₃及びAl₂O₃ダイポール効果の変化について議論した結果を報告する。