講演情報
[15a-WL2_301-5]産業用TD-OCTによるレーザー加工工程の評価
〇塚本 均1、椎名 達雄1 (1.千葉大)
キーワード：
OCT、レーザー加工
精密機器業界では高品質なレーザー加工が主流であり、欠陥検査やプロセス制御の重要性が高まっている。OCTは高分解能・非破壊で加工工程をリアルタイム観察できる技術であるが、既存装置は高価で光学系設計や測定範囲の自由度が低いという課題がある。本研究では、設計自由度の高いTD-OCTに着目し、加工計測に特化した産業用TD-OCTを開発した。レーザー加工とOCT計測を同軸・同期で実施し、有効性を評価した。