[15p-70A_101-1~13] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（３）

14:00 〜 14:30

[15p-70A_101-3] 先端LSI 向け3D ナノデバイスに必要不可欠なAtomic-Layer Process

〇若林 整¹ (1.東京科学大学)

キーワード：

3D ナノデバイス、Atomic-Layer Process

先端LSI 向け3D ナノデバイスに必要不可欠なAtomic-Layer Process