[15p-70A_101-1~13] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（３）

15:15 〜 15:45

[15p-70A_101-5] Atomic Scale Processing for Quantum Applications

〇伊藤 昌平¹、Shen ChunTing¹、Nick Chittock² (1.OIKK、2.OIPT)

キーワード：

原子層堆積、原子層エッチング、量子技術

量子技術の技術的準備が進むにつれて、この分野は超電導Q-bitや量子回路などの製造方法や微細加工技術に焦点を当て始める必要があり、原子層堆積（ALD）や原子層エッチング（ALE）などのAtomic Scale Processing（ASP）手法が、量子技術の微細加工において果たす役割の可能性に焦点を当てます。