2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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17:00 〜 17:15
[15p-M_124-12]
電極蒸着で生じた歪みによるWSe
2
FETの電気特性の変化
〇中島 隆一
1
、西村 知紀
1
、金橋 魁利
1
、上野 啓司
2
、遠藤 尚彦
3
、宮田 耕充
3
、長汐 晃輔
1
(1.東京大、2.埼玉大、3.NIMS)
キーワード:
WSe2、p型FET、Strain
電極蒸着で生じた歪みによるWSe
2
FETの電気特性変化を観測した.CVDで成長した連続膜を用いることにより,歪みによるバンドアライメントの変調を推測できた.
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