講演情報

[15p-M_124-12]電極蒸着で生じた歪みによるWSe2 FETの電気特性の変化

〇中島 隆一1、西村 知紀1、金橋 魁利1、上野 啓司2、遠藤 尚彦3、宮田 耕充3、長汐 晃輔1 (1.東京大、2.埼玉大、3.NIMS)

キーワード:

WSe2、p型FET、Strain

電極蒸着で生じた歪みによるWSe2 FETの電気特性変化を観測した.CVDで成長した連続膜を用いることにより,歪みによるバンドアライメントの変調を推測できた.