[15p-PA2-1~13] 3.12 半導体光デバイス

[15p-PA2-13] 半導体ナノ粒子の紫外光検出器応用に向けた波長変換層/光伝搬層構造の評価

〇谷崎 陽友冴¹、井筒 由紀¹、金 大貴¹、重川 直輝¹ (1.大阪公大工)

キーワード：

半導体ナノ粒子、紫外光検出器

火炎検知や医療で注目されている可視光に感度を持たない（visible-blind）なUV検出器は、従来の光電管が大型・真空要で代替材料もコストやプロセスに課題がある。そこでZnSe/ZnS:Mn/ZnSナノ粒子分散sol-gelガラスをSiセル上に形成し、UVを可視へ波長変換して検出する構造を検討した。光伝搬層（サファイア）導入により反射・散乱損失を低減し、紫外域でEQE向上を確認した。