講演情報

17:45 〜 18:00

[15p-S4_203-15]Neガスでスパッタ成膜したポリイミド上InSb薄膜のRTA結晶化

〇比嘉辰志¹、清水脩平¹、野口隆¹、梶原隆司²、佐道泰造²、奥山哲雄³、土屋俊之³、谷口慎一⁴、吉留省吉⁴、岡田竜弥¹ (1.琉大工、2.九州大学、3.東洋紡株式会社、4.株式会社イーテック)

InSb、Hall移動度、RTA結晶化