2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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15:00 〜 15:15
奨励賞エントリー
[15p-SL_101-6]
MOCVD法によるAlYN薄膜の成長と評価
〇成田 俊
1
、清水 裕大
1
、飯田 大輔
1
、池尻 圭太郎
1
、池永 和正
1
(1.大陽日酸株式会社)
キーワード：
MOCVD、AlYN
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