[15p-SL_101-1~17] CS.4 6.1 強誘電体薄膜、15.4 III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション

15:45 〜 16:00

[15p-SL_101-8] スパッタ法によるGaN上NbAlN薄膜のエピタキシャル成長

〇黒木 颯太¹、菊池 立貢²、河村 貴宏³、池田 和久^1,2、小林 篤^1,2 (1.理科大先進工、2.理科大院先進工、3.三重大院工)

キーワード：

NbAlN、GaN、エピタキシャル成長