講演情報
[15p-W2_401-13]InGaN 単一量子井戸および下地層付き量子井戸におけるカソードルミネッセンススペクトルイメージングによる空間発光特性評価
〇(M1)辻井 大地1、福 隆之介1、赤瀬 善太郎1、岩満 一功1、冨谷 茂隆1 (1.奈良先端大)
キーワード:
カソードルミネッセンススペクトルイメージング、空間発光特性、量子井戸
InGaN量子井戸(QW)では、QW成長前に下地層(UL)を導入することで発光特性が改善することが知られているが、空間構造を評価した検討は十全でない。本研究では、単一量子井戸(SQW)およびUL付きSQWでのCLスペクトルイメージングより、そのスペクトル形状に大きな差は認められなかったが、発光強度ではUL付きSQWの方が改善の兆候を示した。発表では空間構造に着目し、PCAと階層性クラスタリングを組み合わせた手法による解析結果を報告・議論する。
