講演情報
[15p-W2_401-4]素子サイズを考慮した電流拡散設計が積層型μLED特性に与える影響
〇福島 瑚子1、清水 優輝1、竹谷 圭右1、末広 好伸1、上山 智1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1 (1.名城大)
キーワード：
LED、GaInN、モノリシックμLEDアレイ
積層型μLEDアレイはVR/AR応用が期待されるが、従来メサ構造では電極段差による実装課題がある。本研究では、電極高さ同一構造μLEDにおいて、電流拡散を担う電極直下n型層膜厚に着目し、110および440 ppiの画素サイズで系統的に検討した。素子サイズに応じたn型層膜厚設計が電流拡散、発光均一性およびデバイス特性に与える影響を実験的に明らかにし、従来メサ構造との比較から本構造におけるn型層の役割を検討した。