[15p-W8E_101-1~13] 13.3 絶縁膜技術

16:45 〜 17:00

[15p-W8E_101-12] NMF解析による角度選択STEM-EELSマップの成分分離：異種積層膜中のAl₂O₃極薄膜のバンドギャップ分析への応用

〇浅野 孝典¹、手面 学¹、田中 洋毅¹ (1.キオクシア（株）)

キーワード：

STEM-EELS、バンドギャップ、Al2O3