[15p-W8E_307-1~16] 15.6 IV族系化合物（SiC）

14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[15p-W8E_307-5] SiC溶液成長におけるメルトバックによるステップバンチング緩和機構の解明

〇杉本 脩人¹、沓掛 健太朗^1,2、原田 俊太^1,2、宇治原 徹^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：

結晶成長