講演情報
[15p-W8E_307-6]SiC溶液成長法におけるフェーズフィールド法を用いたマクロステップ進展角度の解析
〇原田 誠也1、伊藤 貴洋1、沓掛 健太朗1,2、原田 俊太1,2、三浦 均3、宇治原 徹1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.名市大院理)
キーワード：
SiC、フェーズフィールド
SiC溶液成長法において、溶媒取り込み発生率と関係のあるマクロステップの進展角度に着目した。フェーズフィールド法を用い、初期ステップ高さを一定に揃えた条件下でバルク炭素濃度が進展角度に及ぼす影響を調査した。計算の結果、バルク炭素濃度の上昇に伴い垂直・水平方向の成長速度は共に増大するが、特に水平方向の促進が顕著なため、進展角度は減少した。今後は溶液流動等の影響も検討し、角度制御に向けた包括的な条件設計を行う。