[15p-W9_324-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:00 〜 16:15

[15p-W9_324-10] β-Ga₂O₃(010)基板のドメイン境界の位相差顕微鏡観察

〇勝部 大樹¹、姚 永昭^1,2、山口 博隆¹、佐藤 功二¹、佐々木 公平³、石川 由加里¹ (1.ファインセラミックスセンター、2.三重大、3.ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：

酸化ガリウム、位相差顕微鏡、ドメイン境界