[15p-W9_324-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:15 〜 16:30

[15p-W9_324-11] マイクロ波を用いたワイドギャップ半導体層シート抵抗の測定

池田 光¹、若松 岳¹、磯部 優貴¹、田中 勝久¹、〇藤田 静雄¹、菅谷 英生² (1.京大、2.パナソニック)

キーワード：

ワイドギャップ半導体、成長層、シート抵抗

半絶縁性基板上に成長した半導体薄膜のシート抵抗（または抵抗率）を非破壊で知る手法として、四探針法と渦電流法が代表であるが、ワイドギャップ半導体かつ小面積の試料への適応は困難な場合が多い。今回われわれは、マイクロ波領域におけるインピーダンス測定からシート抵抗を求める方法を検討したので、概要と結果を報告する。