[15p-W9_324-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

15:00 〜 15:15

[15p-W9_324-7] c面α-Cr₂O₃テンプレート上のα-Ga₂O₃のハライド気相成長

〇大島 祐一¹、大島 孝仁¹、肖 世玉²、村上 和仁²、今井 克宏²、冨田 崇弘² (1.NIMS、2.日本ガイシ(株))

キーワード：

酸化ガリウム、ハライド気相成長法、酸化クロム