[15p-WL2_401-1~13] 6.2 カーボン系薄膜

15:15 〜 15:30

[15p-WL2_401-7] ダイヤモンドへの高濃度Nイオン注入による低抵抗層形成(II)

〇星野 靖¹、今村 海哉¹、関 裕平^1,2、上原 さくら²、金子 純一² (1.神奈川大理、2.北大院工)

キーワード：

イオン注入、ドーピング