[16a-M_278-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[16a-M_278-4] Mg, Mn共置換ZnO薄膜の作製とその強誘電性評価

〇吉野 雄大¹、野村 和希¹、中村 和弘¹、玉井 敦大¹、權 相曉¹、足立 秀明¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：

強誘電体薄膜、ZnO薄膜

2021年FerriらはZnOにMgを添加したZnMgO薄膜の強誘電性を報告した．この結果は，ZnO系における強誘電性発現にはZnOのバンドギャップの増加による絶縁性の向上が重要であることを示唆している．しかしながら，通常Mgのみの添加ではZnO薄膜の絶縁性を十分改善することはできず，強誘電性を安定に実現することは容易ではない．本研究では絶縁性の改善を目的とし， MgとMnを共置換したZnO薄膜を作製し，その強誘電特性への影響を調査した．