[16a-PA4-1~2] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[16a-PA4-1] ALD-Al₂O₃を用いたガラス基板上の4端子縦型 poly-Si 薄膜トランジスタ

〇岩舘 伯¹、中澤 拓矢¹、栗原 義人¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：

半導体、薄膜トランジスタ、縦型