[16a-PA6-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

[16a-PA6-1] RFマグネトロンスパッタリング法によるエピタキシャルCaTaAlO₅薄膜の作製及び評価

〇(M1)砂岡 裕基¹、村上 堅持¹、安井 伸太郎²、谷口 博基³、江原 祥隆¹ (1.防衛大、2.科学大、3.名大)

キーワード：

スパッタリング、チタン石