2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(ポスター講演)6 薄膜・表面：6.1 強誘電体薄膜

[16a-PA6-1~8]6.1 強誘電体薄膜

2026年3月16日(月) 11:30 〜 13:00
PA6 (アリーナ (1F))

[16a-PA6-1]RFマグネトロンスパッタリング法によるエピタキシャルCaTaAlO5薄膜の作製及び評価

〇(M1)砂岡 裕基1、村上 堅持1、安井 伸太郎2、谷口 博基3、江原 祥隆1 (1.防衛大、2.科学大、3.名大)

[16a-PA6-2]Hf置換ZnO薄膜の作製とその強誘電性評価

〇野村 和希1、吉野 雄大1、中村 和弘1、玉井 敦大1、權 相曉1、足立 秀明1、神野 伊策1 (1.神戸大工)

[16a-PA6-3]ミストCVDによる絶縁基板上の銅成膜

〇高橋 勲1、澤水 悠佳1、森本 孝貴2 (1.立命館大学、2.㈱クオルテック)

[16a-PA6-4]圧電式・ピエゾ抵抗式を統合した動的・静的歪の同時計測

〇(B)広瀬 誠1、小林 遵栄1、中嶋 宇史1 (1.東理大応物)

[16a-PA6-5]X 線吸収分光法を用いた 電界印加による ScGaN 薄膜の局所構造の動的変化の観察

〇(M1)小林 輝1、阿蘇品 良磨1、瀬戸山 寛之2、中島 伸夫3、平田 研二4、秋山 守人4、上原 雅人1,4 (1.九大院総理工、2.SAGA-LS、3.広大院理、4.産総研)

[16a-PA6-6]ポストアニールによる室温成膜BiFeOx薄膜の結晶化

〇乾 嵩人1、中嶋 誠二1、藤沢 浩訓1、大坂 藍1、谷村 英昭1,2、植野 雄守2、谷 勇佑2、加藤 慎一2、三河 巧2 (1.兵庫県大院工、2.SCREENセミコンダクターソリューションズ)
英語発表

[16a-PA6-7]Self-Powered Ultra-Violet Index Detection Using TiO2-NFs-blended P(VDF-TrFE) Piezoelectric Nanogenerators

〇(D)ChenYang Tseng1, TzuChuan Yang1, TingHan Lin1, Karthekeyan Periasamy2,3, MingChung Wu1,4, JerChyi Wang1,4,5 (1.Chang Gung Univ., 2.Aalto Univ., 3.Nokia Networks, 4.Linkou CGMH, 5.Ming Chi Univ.)

[16a-PA6-8]光ヘテロダイン微小振動計を用いた2次元面直方向の動的変位測定

〇田中 利奈1、児玉 秀和2、飯島 高志1、小林 遵栄1、中嶋 宇史1 (1.東理大応物、2.小林理研)
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