講演情報
[16a-PA6-8]光ヘテロダイン微小振動計を用いた2次元面直方向の動的変位測定
〇田中 利奈1、児玉 秀和2、飯島 高志1、小林 遵栄1、中嶋 宇史1 (1.東理大応物、2.小林理研)
キーワード：
光ヘテロダイン微小振動計、2D走査システム、圧電変位分布
微小圧電変位の分布評価を目的に、光ヘテロダイン微小振動計とX-Yステージを同期させた独自の2D走査型測定システムを構築した。AD変換による印加電圧と出力信号の同時サンプリングで、広範囲な振幅・位相の自動マッピングを実現した。PVDF測定では、実測値から試料固定に由来するたわみの重畳を捉えた。本報告では装置の制御系と測定システムの有効性を述べる。