[16a-PB6-1~5] 3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御

[16a-PB6-5] 光電融合デバイス応用に向けたSiイオン注入シリコンの光吸収特性および結晶構造評価

〇(M1C)山本 康生¹、𡧃和佐 圭吾¹、Ji Sangmin¹、倉持 栄一²、新家 昭彦²、後藤 秀樹¹ (1.広島大、2.NTT物性研)

キーワード：

光電融合