[16a-S2_203-1~9] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

9:45 〜 10:00

[16a-S2_203-3] [第17回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演] 不連続な固相エピタキシャル成長を介して形成される粒内欠陥

〇手面 学¹、浅野 孝典¹、高石 理一郎¹、富田 充裕¹、齋藤 真澄¹、田中 洋毅¹ (1.キオクシア㈱先端研)

キーワード：

結晶成長、電子顕微鏡、その場