[16a-S4_203-1~12] 7.2 電子ビーム応用

9:00 〜 9:15

[16a-S4_203-1] SEMの二次電子・反射電子の分類とそこに含まれる物理情報の整理

〇関口 隆史¹、姚 遠昭¹ (1.筑波大数理)

キーワード：

走査電顕、二次電子、反射電子

我々は新しいSEMの像の分類法を提唱する。これは従来のSE, BEにエネルギーと放射角の情報を付加したものである。エネルギーは、SEは0-10, 10-30, 30-100 eV、BEはPEエネルギーをE_PとしてE_P -2/3 E_P, 2/3 E_P -1/3 E_P, 1/3 E_P -100 eVの3段階にA, B, Cを割振り、放射角は天頂から30°, 30°- 60°, 60°- 90°に1, 2, 3を割振る。また、検出器の方向性によりd (directional)かo (omnidirectional)を付与する。これにより、SE, BE像に含まれる物理情報がより明確になる。付帯情報はわかる範囲で記せばよい。