[16a-S4_203-1~12] 7.2 電子ビーム応用

9:30 〜 9:45

[16a-S4_203-3] 正十二面体SE/BSE検出器による角度弁別SEM像の取得と評価

〇柳原 悠人¹、熊谷 和博^2,3、姚 遠昭²、関口 隆史² (1.光産業創成大学院大学、2.筑波大数理、3.産総研)

キーワード：

マイクロチャンネルプレート、走査電子顕微鏡、検出器

MCPを組み込んだ正十二面体検出器を試作し、FE-SEMを用いてSE/BSE像を取得した。各面の角度依存信号とグリッド電位切替によりSEとBSEを選択的に検出可能。多方向像比較から三次元形状評価や組成コントラスト解析への応用例を示す。