講演情報
[16a-S4_203-5]LaB6薄膜をもちいた透過光型フォトカソード電子銃の開発Ⅱ
〇(M1)道家 荘太1、石田 高史1,2、齋藤 晃1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)
キーワード：
電子顕微鏡、フォトカソード
フォトカソード電子銃もちいることで電子顕微鏡により超高速現象が可視化できる。フォトカソード電子銃の高性能化に向け、我々は長寿命かつ低仕事関数を有する金属化合物LaB₆に着目し、PLD法により薄膜を作製した。本研究では成膜条件を検討し、SEMおよびSTEMで表面形態と結晶構造を評価した。その結果、レーザー強度低下によりドロップレット発生が抑制されることを確認した。