講演情報
[16a-S4_203-8]走査電子顕微鏡における電子ビーム形状の非対称性評価
〇早田 康成1、田中 満1 (1.筑波大数理)
キーワード：
走査電子顕微鏡、電子ビーム、電子ビーム形状
これまで、走査電子顕微鏡の試料上での電子ビームサイズを像シャープネスから推定する方法の研究を進めてきた。本研究では電子ビームの非対称形状を評価するために、電子ビーム形状を２つのフォークト関数で仮定した。その結果、SEM像のパターンエッジプロファイルのフィッティング精度が向上した。本手法を活用した光軸実験からコマ収差の存在が示唆された。